ニュース
» 2016年07月07日 15時30分 UPDATE

最低130Wの出力で119時間の連続運転に成功:EUV光源、発光効率4.0%で出力250Wを達成

ギガフォトンは、開発中の極端紫外線(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機で発光効率4.0%、発光出力250wを達成した。

[馬本隆綱,EE Times Japan]

量産対応EUVスキャナーの実現に大きく前進

 ギガフォトンは2016年7月、開発中の極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP:Laser Produced Plasma)光源のプロトタイプ機で発光効率4.0%、発光出力250wを達成したと発表した。この発光性能は、最先端半導体の量産ラインに適用可能なレベルにあるという。

 ギガフォトンは、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において、EUVスキャナー用LPP光源のプロトタイプ機を開発している。2015年には、エネルギー安定性が平均0.5%以下で、ロジックIC生産に適用可能なレベルといわれる発光出力108Wを達成し、24時間の連続運転に成功していた。

 引き続き同社は、高出力で長期連続運転を目指して研究開発を行ってきた。その結果、今回は発光効率4.0%で、発光出力250Wの発光性能を達成することができた。しかも、最低130Wの出力で119時間の連続運転にも成功したという。

連続運転時の出力データ 出典:NEDO、ギガフォトン

 ギガフォトンでは、半導体量産工場での稼働を想定したEUV光源高出力検証機も開発し、その運用を始めた。この高出力検証機では、省電力CO2レーザーの導入と、発光効率をさらに改善したEUV光源の性能実証を行っていく計画である。

Copyright© 2017 ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSSフィード

All material on this site Copyright © 2005 - 2017 ITmedia Inc. All rights reserved.
This site contains articles under license from UBM Electronics, a division of United Business Media LLC.