一辺1200mm超える柱状晶シリコン製造技術を確立：2016年度中にサンプル出荷へ

精密鋳造技術を駆使

　三菱マテリアルの電子材料事業カンパニーは2017年1月、三菱マテリアル電子化成と共同で、一辺が1200mmを超える柱状晶シリコンの製造技術を確立したと発表した。

　柱状晶シリコンは、一方向に結晶を成長させて凝固させた「柱状」の結晶構造を持つ多結晶シリコンである。シリコンは材料が脆性（ぜいせい）であることに加え、凝固過程において膨張するため、大型になると割れやすいといった特徴がある。

　同社は、長年培った精密鋳造（ちゅうぞう）に関するノウハウを生かし、高純度化と内部応力の低減を実現する製造技術を確立。実用性の高い「世界最大級」の大型柱状晶シリコンを、安定的に製造することに成功したという。

1200×1200mmの柱状晶シリコン （クリックで拡大） 出典：三菱マテリアル

　同技術の確立により、現在柱状晶シリコンが利用されている半導体製造装置用部材（プラズマエッチング装置用、均熱版など）やスパッタリングターゲット材料などの利用拡大が見込む。半導体装置において他の素材を利用していた大型部材やフラットパネルディスプレイなど、さまざまな製品分野での利用拡大も期待できるとした。

　2016年度中をめどに、大型柱状晶シリコンのサンプルを出荷予定。2017年2月15～17日に東京ビッグサイトで開催される「新機能性材料展2017」にも展示予定である。