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» 2018年04月12日 10時30分 公開

6インチウエハーへの移行も開始:600億円の投資を始めるローム、SiCでトップ狙う (2/2)

[松本貴志,EE Times Japan]
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ローム・アポロの筑後⼯場に新棟を建設

 この投資の一環として、同社子会社であるローム・アポロの筑後⼯場に前工程を担当する新棟を建設する。「ロームも久しぶりに国内で新棟を建てる」(東氏)として、建屋は2019年2月に着工し、2020年12月の竣工を目指す。その後、製造装置設置や設備工事を行い、実際の製造ライン立ち上げは2021年中、本格稼働は2022年以降を予定している。

ローム・アポロ筑後⼯場に建設する新棟 出典:ローム

 この新棟の製造ラインは6インチウエハー対応で建設され、使用する製造装置も6インチおよび8インチウエハー対応モデルを採用する。同社パワーデバイス生産本部統括部長の伊野和英氏は「ここ2年間で市場の伸びが想定よりも速く進んでおり、4インチ(ウエハー)のまま製造していては供給が間に合わない」として、同社ではSBD(ショットキーバリアダイオード)の製造を2018年度内に6インチウエハーに完全移行、MOSFETは2018年度下期からの移行を開始するという。

MOSFETが形成された4インチウエハーとSBDが形成された6インチウエハー
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