潜在不良を検出、高密度プリント配線板検査装置：低抵抗や高絶縁抵抗の測定を実現

検査結果を「見える化」、不良解析も

FA1817の外観（クリックで拡大）

　HIOKI（日置電機）は2018年12月、ベアボードを自動で検査できるフライングプローブテスター「FA1817」を発売した。高密度プリント配線板の不良要因を検出し、検査データを活用して不良解析を行うこともできる

　FA1817は、専用プローブや測定ボードを用いて、低抵抗測定や100GΩ/250Vの高絶縁抵抗測定が可能である。この結果、極めて小さい抵抗値変化を測定することでオープンビア不良を検出することが可能だ。また、パターン形状の異常あるいは、パターン間に存在する不純物やボイドなどによる絶縁異常および、アーク放電現象なども検出できる。

　独自に開発した専用の高精度プローブ「CP1072」を用いると、ベアボードに生じる打痕の深さが従来の半分になり、ベアボードへのダメージを最小限に抑えることができるという。

プローピングの様子 出典：日置電機

　また、基板の表裏をそれぞれ2つのアームでプロービングをすることにより、検査時間を従来に比べて最大20％も短縮できる。さらに、不良解析を行うためのソフトウェア「プロセスアナライザー」を標準搭載した。蓄積した検査結果のデータを、測定値の推移やヒストグラム、分布図といった形に「見える化」することができる。分析した不良の内容を、設計工程や製造工程にフィードバックすれば、歩留まりの改善につながるとみている。