連載 2015年9月10日 ナノインプリント開発の進展状況をキヤノンが講演（3）〜生産性と欠陥密度（要約）：SEMICON West 2015リポート(10) [福田昭，EE Times Japan] ナノインプリント・リソグラフィでは、ウエハー1枚当たりの処理時間を短縮しようとすると、欠陥密度が増加する傾向にある。だが要求されるのは、生産性の向上と欠陥密度の低減だ。キヤノンは、こうした“二律背反”の要求に応えるべく、リソグラフィ技術の改良を重ねてきた。 続きを読む
