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プロセス技術

「ムーアの法則」を追う微細加工技術などプロセス技術に関する情報をお届け。

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連載
業界動向,プロセス技術
湯之上隆のナノフォーカス(3) ドライエッチング技術のイノベーション史(3):

発明者(インベンター)がイノベーターになれるとは限らない。また、必ずしもイノベーターが相応の利益を得られるとは限らない。ドライエッチング技術史をひもといてみると、まさに、そのパイオニアが報われていない実態が明らかになる。本稿では、まず、ドライエッチングに関する特許の“強弱”を判定する。その結果から、日電バリアンがイノベーターになれなかった原因を論じる。さらに、RIEを普及させたIBMが、なぜ、相応の利益を享受できないのかを考察する。

(2018年10月05日)
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連載
プロセス技術
湯之上隆のナノフォーカス(2) ドライエッチング技術のイノベーション史(2):
(2018年09月28日)
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連載
プロセス技術
湯之上隆のナノフォーカス(1) ドライエッチング技術のイノベーション史(1):
(2018年09月19日)
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ニュース
プロセス技術
90年代から開発着手も:
(2018年09月07日)
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ニュース
プロセス技術
EUV専用ラインは2019年末に完成:
(2018年09月05日)
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ニュース
企業動向,プロセス技術
AMDはTSMCに委託先を切り替え:
(2018年08月29日)
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特集
プロセス技術
半導体開発だけではない:
(2018年08月09日)
ニュース
プロセス技術
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2018年には20台:
(2018年07月24日)
特集
プロセス技術
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Samsungは2018年内にも適用開始:
(2018年06月01日)
ニュース
企業動向,プロセス技術
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イスラエルにさらなる投資:
(2018年05月28日)
ニュース
プロセス技術
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18年後半にはEUV適用の7nmも:
(2018年05月25日)
特集
プロセス技術
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新パッケージング技術の開発も:
(2018年05月10日)
ニュース
企業動向,プロセス技術
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歩留まり問題の対処が長引く:
(2018年05月07日)
ニュース
プロセス技術
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米で専門家が議論:
(2018年03月28日)
ニュース
プロセス技術
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生産開始は2023年か:
(2018年03月14日)
ニュース
プロセス技術
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レジストにも課題が:
(2018年03月05日)
ニュース
企業動向,プロセス技術
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これまでの協業関係を維持:
(2018年02月27日)
コラム
プロセス技術
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250Wの光源は実現しているが……:
(2018年02月22日)
ニュース
プロセス技術,メモリ
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メモリベンダーとしての意地も:
(2018年02月20日)
ニュース
プロセス技術
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ISSCC 2018が開幕:
(2018年02月14日)
特集
プロセス技術
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DesignCon 2018で専門家が議論:
(2018年02月13日)
ニュース
先端技術,プロセス技術
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非イオン性界面活性剤で分離:
(2018年02月09日)
ニュース
プロセス技術
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センサーや電子部品を1/10に:
(2018年02月08日)
ニュース
企業動向,プロセス技術
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28nm製品が伸び悩み:
(2018年01月31日)
ニュース
プロセス技術
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上海工場に最新鋭設備導入:
(2018年01月29日)
特集
プロセス技術
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ファウンドリー各社の動向:
(2018年01月29日)
特集
企業動向,プロセス技術
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7nmでシェア100%を狙う?:
(2018年01月24日)
ニュース
プロセス技術,パワエレ,パワー半導体開発
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KABRAプロセスで加工:
(2018年01月11日)
ニュース
プロセス技術,semicon2017,会場レポート
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IBMが開発した3次元IC向け技術:
(2017年12月27日)
ニュース
プロセス技術,semicon2017,会場レポート
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専用の高周波電源を開発:
(2017年12月25日)

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