【人とくるま展2011】小型ながら感度良し、愛知製鋼が微弱磁界センサーを出品：センシング技術 磁界センサー

　愛知製鋼は、微弱な交流磁界を検出する磁気センサーを製品化し、自動車技術に関する総合展示会「人とくるまのテクノロジー展（2011年5月18〜20日）」に出品した（図1）。

　現在、交流磁界の検出には、ホール素子を使ったセンサー（ホールセンサー）や、磁気抵抗（MR）センサー、巨大磁気抵抗効果（GMR）センサーが広く使われている。これに対して同社の磁気センサーは、「磁気インピーダンス効果（Magneto-Impedance Effect）」を利用するMI素子を採用したことが特徴だ（関連記事）。

図1　愛知製鋼の磁気センサー。磁気インピーダンス効果（MI）素子を使うことが特徴。図左は、最近製品化した3軸電子コンパスモジュール「AMI306」と、6軸モーションセンサーモジュール「AMI603」。同社従来品と並べて展示してある。同社従来品に比べて、小型化と低消費電力化を進めた。図右は、6軸モーションセンサーモジュール「AMI603」を使ったモーション検知のデモ。

　磁気インピーダンス効果とは、アモルファスワイヤーにパルス電流を通電すると、外部磁界によってワイヤーのインピーダンスが大きく変化するという現象である。「従来の磁気センサーに比べ、高感度であることや、磁界変化に対する応答速度が高いこと、消費電力が低いことが特徴だ」（同社ブースの担当者）と主張する。同社の磁気センサー製品は現在、スマートフォンやタブレットPCなどに採用されており、今後はゲーム機のコントローラにも搭載される見込みだという。

　会場では最近製品化した3軸電子コンパスモジュール「AMI306」と、6軸モーションセンサーモジュール「AMI603」、高感度を追求した磁界センサーモジュール「MI-CB-1Dx」を展示していた。

　AMI306の外形寸法は2.04mm×2.04mm×1.0mm。AMI603は、3軸磁気センサーと3軸角加速度センサーを1つのパッケージに納めたもので、外形寸法は3.0mm×3.0mm×1.1mm。検出感度（磁気分解能）は、例えばAMI306が±0.4μT（テスラ）である。

図2　高感度を追求した磁界センサーモジュール「MI-CB-1Dx」を使ったデモ　腕時計の秒針が動いたときの腕時計内部の磁界変化を検出していた。

　MI-CB-1Dxは、検出感度が0.1nTと高いことが特徴。会場では、MI-CB-1Dxの高感度をアピールするデモを展示した（図2）。具体的には、腕時計の秒針が動いたときの腕時計内部の磁界変化を、外部から検出する様子を見せていた。将来的には、医療分野や生体計測分野にも使えるよう、1pTの感度を目指すという。