プレーナ型NANDフラッシュの微細化の限界：電子ブックレット

EE Times Japanに掲載した記事を読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、微細化が限界といわれているプレーナ型NANDフラッシュについて考察します。

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プレーナ型NANDフラッシュの微細化の限界

　アイティメディアがモノづくり分野の読者向けに提供する「MONOist」「EE Times Japan」「EDN Japan」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、微細化が限界といわれているプレーナ型NANDフラッシュについて考察します。

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プレーナ型NANDフラッシュの微細化の限界

最近になって、1Xnm世代のプロセスを適用したプレーナ（平面）型のNAND型フラッシュメモリが市場に投入され始めた。だが、プレーナ型NANDフラッシュの微細化は限界だといわれている。各社の1Xnm世代NANDフラッシュを見ながら、微細化技術について考察してみたい。