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» 2015年11月13日 10時30分 公開

福田昭のデバイス通信 IEDM 2015プレビュー(6):ナノワイヤと非シリコン材料で「ムーアの限界」を突破 (2/3)

[福田昭,EE Times Japan]

トランジスタの3次元構造を原子レベルで把握

 セッション14(キャラクタライゼーション、信頼性、歩留まり)のテーマは、「フラッシュと新規デバイスのキャラクタライゼーションと信頼性」である。最先端デバイスの特性を解析した研究成果の発表が相次ぐ。

 ベルギーのimecは、サブ10nmと微細なFinFETのキャリア分布を3次元的に捉える手法を開発した(講演番号14.1)。走査型広がり抵抗顕微鏡(SSRM)を改良した観察手法である。空間分解能は1nmに達する。

 米国のThe Pennsylvania State UniversityとUniversity of California, Santa Barbara、IntelとインドIIT Bombayで構成される共同研究チームは、ヘテロ接合トンネルFETの3次元構造を原子オーダーで解析する手法を報告する(講演番号14.2)。GaAs0.4Sb0.6/In0.65 Ga0.35Asヘテロ接合トンネルFETのトンネル接合の急しゅん性と、ソースの不純物濃度分布のランダムばらつきを推定した。分解能は2.4nmである。さらに、HfO2、HfO2-ZrO2、ZrO2といった高誘電体ゲート膜のPBTI特性を評価した。

セッション14の講演一覧
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