自動車や建機の自動運転に、高精度IMUを提案：独自の水晶センサー技術で実現

FOGクラスに匹敵する性能を達成

　セイコーエプソンは、「インフラ検査・維持管理展」（2018年7月18〜20日、東京ビッグサイト）で、6軸センサーの慣性計測ユニット（IMU）の新製品や、耐衝撃性を高めた高精度3軸加速度センサーの開発品などを展示した。

　IMUは3軸ジャイロセンサーと3軸加速度センサーを搭載した製品で、自動車の姿勢計測や建機、農機の自動運転、アーム姿勢制御などに用いられている。同社はIMUの新製品として「M-G370」と「M-G365」を2018年4月に発表した。国内での製品展示は初めてだという。

　同社IMU製品の中で最上位機種と位置付けるM-G370は、FOG（Fiber Optical Gyro）クラスに匹敵する性能を、小型サイズ（24×24×10mm）で実現した。搭載するジャイロセンサーと加速度センサーを新たに開発し、検出精度を高めた。これらのベースには同社が得意とする水晶センシング技術の進化がある。コスト競争力にも優れており、FOGが採用されている自動車用途などに提案する。

　一方、M-G365は独自開発の拡張カルマンフィルターを内蔵した。これにより、動的な姿勢角データをリアルタイムに出力することが可能となった。次世代のスタンダード製品と位置付ける。ブースでは、M-G365を装着した模型のパワーショベルを用意し、アームバケットなどの制御デモを行った。

M-G365を装着した模型のパワーショベルを使ったデモの模様

耐衝撃性を1200Gに高めた3軸加速度センサー

　高精度3軸加速度センサーの展示コーナーでは、耐衝撃性を1200Gまで高めた「M-A352」を参考展示した。2019年4月以降の製品化を予定している。水晶センサー素子の改善などにより、現行の「M-A351」に比べて4倍の耐衝撃性を実現した。このため、センサーモジュールの取り扱いが容易となり、被測定物へ装着する場合の作業性も向上するという。

高精度3軸加速度センサーの製品群。右が参考展示のM-A352

　同社の加速度センサーは、地震や環境振動の計測から、橋あるいは建造物などの振動モニタリングなど、幅広い用途に用いられている。特に、微細な加工を行う半導体製造装置や微細な形状や寸法を観察する電子顕微鏡などを設置する建屋では、わずかな振動が問題となる。

　ブースでは、こうしたアプリケーションを想定し、M-A351を用いた床振動測定のデモを行った。