チャージングダメージの障壁を乗り越えた日米の情熱：湯之上隆のナノフォーカス（4） ドライエッチング技術のイノベーション史（4）（4/5 ページ）

4）日本から米国への知の伝達ルート

　筆者らは、AMATらの米エッチャーメーカーがハブとなって、米国の大学がチャージングダメージの研究を行うようになったと推測した（図7）。

図7：日本から米国への知の伝達ルート （クリックで拡大）

　まず、前述したように、1988年に日立の野尻のグループが、AMATらの米エッチャーメーカーにチャージングダメージの評価結果を直接伝えた。

　また、米エッチャーメーカーの日本支社が、1983〜1987年に日本人が行った三つの先駆的研究結果を、米本社に伝えたと考えられる。その際、特に日本で毎年開催されていたDPSの予稿集は、1980〜1990年代にドライエッチングの“影のバイブル”と呼ばれ、情報の宝庫として、日本支社を通じて米本社に送られていたと思われる。

　チャージングダメージの重要性を認識した米エッチャーメーカーは1989年に、その原理の解明や処方箋の研究を、UCBやStanford　Univ.らの米大学に委託した。そのとき、前述した通り、SRCが大学に研究資金を助成した。その結果、1991年から、米大学から怒涛の勢いで論文が発表されるようになったのだろう。

5）日立の野尻氏の数珠つなぎの招待講演

　日立の野尻の数珠つなぎの招待講演も、チャージングダメージの問題の重要性を、米国などに認識させるのに一役買った（図8）。

図8：日立の野尻一男による数珠つなぎの招待講演。なお、所属は全て当時のものである （クリックで拡大）

　まず、1987年のSSDMの内容を知った京大の板谷教授（当時）が野尻に、1991年に京都で開催された「Japanese Symposium on Plasma Chemistry（JSPC）」への招待講演を依頼した^11）。

　このJSPCには、IBMのG.S. Oehrleinや、オーストラリア国立大学のR. Boswellが参加していた。この中のBoswellが野尻に、1992年にオーストラリアのメルボルンで開催された「Gaseous Electronics Meeting（GEM）」への招待講演を依頼した^12）。

　このGEMには、Bell研究所のR. Gottcho（現LamのCTO）や著書”Glow Discharge Processes”¹³で有名で元米エッチャーメーカーTegalのB. Chapmanが参加していた。その中のChapmanが野尻に、1992年に米国シカゴで開催されたAmerican Vacuum Society（AVS）に招待講演を依頼した^14）。そして、野尻は1993年に、AVSの講演内容を米国論文JVSTに発表した^15）。

　このように、日立の野尻がまるで宣教師のように、チャージングダメージの先駆的な研究結果を伝達していった。