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» 2019年08月21日 11時30分 公開

CEO「投資続ける」:メモリ不況でも強気なMicron、200層3D NANDも視野に (2/2)

[村尾麻悠子,EE Times Japan]
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スマートマニュファクチャリングに注力するMicron

 Micronが全社を挙げて取り組んでいるのが、スマートマニュファクチャリングだ。新棟のFab 10Aでも、装置のヘルスモニタリングを行ったり、ウエハーの画像を基に機械学習で欠陥を検知し、製造工程にフィードバックしたりといった仕組みを取り入れている。

 シンガポールの工場内には、こうした工場に取り入れられているさまざまな技術や工夫を展示するエリア「Experience Zone」が設けられていて、2019年8月14日(シンガポール時間)に開催されたFab 10Aのオープニングセレモニーでは、多くの招待客がExperience Zoneを見学していた。

左=「Experience Zone」の様子。右=工場内で稼働するロボットの動きを再現するコーナーも設けられている。1台のロボットが製造装置20台分のウエハーを運ぶという(クリックで拡大)
左=シンガポール工場では、産業用IoT(IIoT)が活用されている。装置に各種センサーを取り付け、データを収集して予知保全に生かす(画像:Micron Technology)/右=ウエハーの画像から、機械学習を使って欠陥を検知する。写真の例では、コーティングの不具合を検知した。Micronによれば、1日当たり25万枚のウエハー画像が生成されているという(クリックで拡大)
工場では3Dプリンタを使って、装置をより使いやすくするよう、治具などを作っている。自分たちで装置の“カスタマイズ”をしているのだ。右の写真は、そうした治具の一例である(クリックで拡大)
Fab 10Aに行くための自動運転カート。ライダーを搭載していて、8m先まで人や物体を検知する。乗車しているのは、Micron CEOのMehrotra氏とシンガポールの副首相兼財務大臣のHeng Swee Keat氏 画像:Micron Technology(クリックで拡大)
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