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湯之上隆のナノフォーカス

「湯之上隆のナノフォーカス」の連載記事一覧です。

湯之上隆のナノフォーカス(10):

米中におけるハイテク戦争では、2018年末以降、Huaweiが台風の目となっている。しかし、筆者には、3つの疑問がある。本稿では、3つの疑問について論じるとともに、世界のハイテク戦争が、米中二国間の単純な対立ではなく、米国、中国、Huawei3者のにらみ合いの構図になっていることを示す。

【湯之上隆(微細加工研究所) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(9):

Intelは2016年以降、今日に至るまで、10nmプロセスを立ち上げることができていない。一方で、配線ピッチは同等であるはずの、TSMCとSamsung Electronicsの7nmプロセスは計画通りに進んでいる。ではなぜ、Intelは10nmプロセスの立ち上げに苦戦しているのだろうか。

【湯之上隆(微細加工研究所) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(8):

激化の一途をたどる米中ハイテク戦争。実は、これは“法律バトル”でもある。本稿では、中国の「国家情報法」および米国の「国防権限法2019」を取り上げ、これら2つがどのようにハイテク戦争に関わっているかを解説する。

【湯之上隆(微細加工研究所) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(7):

2018年、メモリ市場の成長に暗雲が立ち込め、メモリ不況が避けられない事態となった。アナリストらは、メモリの過剰供給による価格の下落を要因として指摘しているが、どうも腑に落ちない。そこで筆者は、Intelの10nmプロセスの遅れという点から、メモリ不況の要因を探ることにした。

【湯之上隆(微細加工研究所) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(6) ドライエッチング技術のイノベーション史(6):

ドライエッチング技術のイノベーション史をたどるシリーズの最終回は、アトミックレイヤーエッチング技術に焦点を当てる。さらに、今後の展望についても考察する。

【湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(5) ドライエッチング技術のイノベーション史(5):

今回は、最先端のドライエッチング技術として、マルチ・パターニングとHARC(High Aspect Ratio Contact)について解説する。

【湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(4) ドライエッチング技術のイノベーション史(4):

1980年代初旬、プラズマを用いたエッチング技術は、チャージングダメージという大きな壁に直面した。だが、日米によるすさまじい研究の結果、2000年までにほぼ全ての問題が解決された。本稿では、問題解決までの足跡をたどる。

【湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(3) ドライエッチング技術のイノベーション史(3):

発明者(インベンター)がイノベーターになれるとは限らない。また、必ずしもイノベーターが相応の利益を得られるとは限らない。ドライエッチング技術史をひもといてみると、まさに、そのパイオニアが報われていない実態が明らかになる。本稿では、まず、ドライエッチングに関する特許の“強弱”を判定する。その結果から、日電バリアンがイノベーターになれなかった原因を論じる。さらに、RIEを普及させたIBMが、なぜ、相応の利益を享受できないのかを考察する。

【湯之上隆(微細加工研究所)、有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(2) ドライエッチング技術のイノベーション史(2):

前回に引き続き、ドライエッチング技術におけるイノベーションの歴史を取り上げる。今回は、ドライエッチング技術の開発を語る上で欠かせない、重要な人物たちと、彼らが発明した技術を紹介する。

【湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()
湯之上隆のナノフォーカス(1) ドライエッチング技術のイノベーション史(1):

半導体製造において欠かせないドライエッチングプロセス。ドライエッチング技術は、どのような技術改良を重ねてきたのだろうか。本連載では6回にわたり、ドライエッチング技術で起こったイノベーションの歴史をたどる。

【湯之上隆(微細加工研究所) 有門経敏(Tech Trend Analysis) , EE Times Japan】()

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