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次世代の半導体製造プロセスに必須ともいわれるEUV(極端紫外線)リソグラフィ技術。今回は、大手装置メーカーのLam Researchが、EUVリソグラフィにおいて重要な要素となる確率変動について解説する。

Rich Wise(Lam Research),EE Times Japan

レスターホールディングス(以下、レスターHD)は2021年4月9日、PALTEKを完全子会社化することを目指して、PALTEKの普通株式に対する公開買い付け(TOB)を実施すると発表した。

竹本達哉,EE Times Japan

ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場(茨城県ひたちなか市)の「N3棟」(300mm生産ライン)について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。

村尾麻悠子,EE Times Japan

東北大学は、カルシウムイオン電池用の電解質を新たに開発、これを有機溶媒に溶解させたカルシウム電解液を作製することに成功した。この電解液を用いて試作したカルシウムイオン電池が、室温で安定動作することを確認した。

馬本隆綱,EE Times Japan
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