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プロセス技術

「ムーアの法則」を追う微細加工技術などプロセス技術に関する情報をお届け。

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枚葉式半導体成膜装置向け:

住友電気工業は、枚葉式半導体成膜装置向けの高精度温度分布制御システム「SumiTune(スミチューン)」を開発した。ウエハー成膜工程における面内の温度分布の高均熱化を実現しており、成膜の生産性と膜厚均一性の両立を可能にした。

(2021年02月26日)
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「信頼される施設」の認定へ:
(2021年02月19日)
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半導体不足の解消急ぐ:
(2021年02月12日)
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より高いパワーレベルが利用可能に:
(2021年02月12日)
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「存在感ある工場を作りたい」:
(2021年02月10日)
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次世代半導体チップ実装用:
(2021年01月27日)
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強い半導体需要が後押し:
(2021年01月21日)
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半導体需要の高まりを受け:
(2021年01月21日)
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SEMICON Japan 2020 Virtual:
(2020年12月25日)
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企業動向,プロセス技術
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HSMCの元CEOを幹部に任命:
(2020年12月18日)
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福田昭のデバイス通信(291) Intelが語るオンチップの多層配線技術(12):
(2020年12月18日)
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処理能力は最大で毎時1000枚:
(2020年12月11日)
連載
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湯之上隆のナノフォーカス(33):
(2020年12月10日)
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先端技術,プロセス技術
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200℃以下でSi層とGe層を積層:
(2020年12月10日)
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統計,プロセス技術
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SEMIが2020年Q3販売額を発表:
(2020年12月07日)
連載
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福田昭のデバイス通信(287) Intelが語るオンチップの多層配線技術(8):
(2020年12月04日)
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強度は一般有機感光体に比べ35倍:
(2020年12月03日)
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熱投影成形法で部分的に変形抑制:
(2020年12月02日)
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200mm以下のシリコンウエハーが対象:
(2020年12月01日)
特集
業界動向,プロセス技術
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専門家が警鐘を鳴らす:
(2020年11月30日)
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合金溶液を基板に塗布し結晶成長:
(2020年11月18日)
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III-V族化合物太陽電池を低コストに:
(2020年10月19日)
連載
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湯之上隆のナノフォーカス(31):
(2020年10月14日)
ニュース
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従来装置に比べ生産性は約3倍に:
(2020年10月06日)
コラム
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コストと時間の削減に向けて:
(2020年09月23日)
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アプライド マテリアルズ Centris Sym3 Y:
(2020年09月07日)
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第6回 SEMI Japan ウェビナー:
(2020年08月28日)
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「N3」はFinFETを適用予定:
(2020年08月27日)
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部品の接着・封止工程で品質向上:
(2020年07月31日)
連載
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湯之上隆のナノフォーカス(28):
(2020年07月27日)

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