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» 2014年11月28日 16時15分 UPDATE

SEMICON Japan 2014 開催直前情報:重ね合わせ精度とスループットをさらに向上、ニコンのArFスキャナー

ニコンは、現行機種に比べて重ね合わせ精度とスループットをさらに高めた露光装置「ArFスキャナー NSR-S322F」を発表した。最先端LSIの量産ラインに向ける。

[EE Times Japan]

 ニコンは2014年11月、現行機種に比べて重ね合わせ精度とスループットをさらに高めた露光装置「ArFスキャナー NSR-S322F」を発表した。最先端LSIの量産ラインに向ける。

 NSR-S322Fは、光源に波長193nmのArFエキシマレーザーを用い、65nm以下の解像度と0.92のNA(開口数)を実現している。現行機種に比べ、重ね合わせ精度とスループットを向上させたのが特長だ。重ね合わせ精度はSMO(同一号機間)が2.0nm以下、MMO(同一機種間)が5.0nm以下である。重ね合わせ精度を向上させるために新しく採用した干渉計システムは、従来の干渉計計測にエンコーダを組み合わせたハイブリッド構成とした。エンコーダを利用することで空気揺らぎの影響を受けずにステージ位置を計測することができるという。

tm_141128nikon01.jpg NSR-S322Fの外観

 スループットは230枚以上(300mmウエハー毎時、96ショット)とし、現行機種に比べてスループットを約5%向上したという。FIAの5眼化により、短時間でアライメント計測を可能としたことが改善につながった。これ以外にも、装置として階層的なモジュール構造を採用したことで、客先でのシステム立ち上げやメンテナンスの作業効率を高めることが可能になるという。

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