ミニマルファブの導入から保守まで丸ごと支援、横河ソリューションサービス：SEMICON Japan 2014

　横河ソリューションサービスは、「SEMICON Japan 2014」（2014年12月3〜5日、東京ビッグサイト）で、ミニマルファブの導入準備から、導入後の運用・保守まで総合的に支援するサービスを紹介した。ミニマルファブに関するあらゆるニーズにワンストップショップで対応する。

　ミニマルファブは、産業技術総合研究所コンソーシアム・ファブシステム研究会（以下、産総研コンソーシアム）が提唱する半導体製造の新しいコンセプトである。多品種少量/変種変量の生産ニーズに適した超小型生産システムを迅速に実現することができる。設備投資額も5億円程度で済み、従来のメガファブと比べ1/1000と、桁違いに小さい。

　ミニマルファブ向けの製造装置は、2013年から主要装置の一部で出荷が始まっている。導入したユーザーでは、、既にミニマルファブ装置のみでトランジスタの製造を始めているという。同社もミニマルファブ第1号ユーザーの生産立ち上げに関与した。

　同社は、ミニマルファブ技術研究組合の組合員でもあり、「産総研コンソーシアムに4人の技術者を出向させ、ミニマルファブに関する技術の習得を行ってきた」（説明員）と話す。こうして蓄積した技術力をベースに、設備導入や運用に関するコンサルティング業務を行っている。具体的には、顧客が計画している半導体チップの製造に必要な製造装置の選定から、ユーティリティの施工、装置の設置/立ち上げ、さらには運用/保守サポートまで、一貫して同社が行うという。

横河ソリューションサービスは、ミニマルファブの導入から保守まで、顧客を丸ごと支援していく

　「全てのミニマルファブ向け製造装置の販売だけでなく、必要な部材や薬液なども最小単位の量だけ供給できる体制を整えている」（説明員）という。さらに、半導体デバイスの加工に必要な装置がミニマルファブ向けにまだ用意されていない場合や、既存の装置を必要とする場合は、メガファブ用の装置を組み合わせたハイブリッドプロセスを提案していくという。