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» 2021年03月21日 15時27分 公開

ルネサス那珂工場火災、「大変厳しい状況だが、1カ月以内の生産再開へ全力」出火原因はめっき装置の過電流(1/2 ページ)

ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年3月21日、同年3月19日に発生した那珂工場(茨城県ひたちなか市)の火災について説明会を開き、現時点で確認できていることについて詳細を語った。

[竹本達哉,EE Times Japan]

 ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年3月21日、同年3月19日に発生した那珂工場(茨城県ひたちなか市)の火災について説明会を開き、1カ月以内に生産再開を目指して、復旧作業にあたっていると明かした。

 社長兼CEOを務める柴田英利氏は「(生産停止によって)大変、大きな影響が生じると危惧している。ありとあらゆる方策を検討し、少しでも影響を小さくするために全力を挙げていく。1カ月以内での生産再開に向けて、尽力していく」と述べた。

2021年3月21日、メディアなどに向けたオンライン会見に挑んだ社長兼CEO 柴田英利氏(中央)らルネサス幹部 (オンライン会見の様子をキャプチャ)

 火災は、ルネサスの生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリングの那珂工場300mmウエハーライン「N3棟」で、午前3時前に発生。19日午前8時12分には鎮火され、ルネサスは翌20日から警察および消防による現場検証を開始していた。

 現場検証の結果、出火元はN3棟の一部工程である、めっき装置だと特定された。めっき装置で過電流が発生し、発火に至った。ただ、過電流が発生した原因と、発火に至った経緯については現在も調査中だ。

火災現場写真。右が火元のメッキ装置内部 (クリックで拡大) 出典:ルネサス エレクトロニクス
火災現場写真。焼損を免れた1階クリーンルームも煤(すす)などで汚染されている(写真右)(クリックで拡大) 出典:ルネサス エレクトロニクス

 焼損規模は、2階建てのN3棟の1階部分、約600m2。N3棟1階のクリーンルーム面積(1万2000m2)のうち、約5%に相当する。焼損した製造装置は11台。N3棟の全製造装置の約2%に相当するという。なお、損傷部分以外の1階クリーンルーム内にも、火災で発生した煤(すす)による汚れが付着しており、清掃が必要な状況になっている。なお、1階と同じの広さを備える2階クリーンルームについては、火災の影響が生じていないとする。ただし「1階クリーンルームと2階クリーンルームで、製造工程が異なるため、1階クリーンルームが再稼働しなければ、(2階クリーンルームを単独で稼働させても)意味を成さない」(柴田氏)

那珂工場全景。200mmウエハーラインについては火災の影響はない (クリックで拡大) 出典:ルネサス エレクトロニクス
火災の経緯と被害状況 (クリックで拡大) 出典:ルネサス エレクトロニクス
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